高纯气体管道设计要点:
gāo高 chún纯 tiān天 rán然 qì气 guǎn管 dào道 shè设 jì计 yào要 diǎn点 :
(1)对不同性质的天然气,要规划一个独立的供气区,一般分为三个区:腐蚀性/有毒性气体、可燃性气体、惰性气体区域,将同一天然气浓度加强管理和可燃气体区,以专门规划爆破墙和渗漏,如果空间不足,可以考虑。放置惰性气体和有毒腐蚀性气体区域。
( 1 ) duì对 bù不 tóng同 xìng性 zhì质 de的 tiān天 rán然 qì气 , yào要 guī规 huà划 yī一 gè个 dú独 lì立 de的 gōng供 qì气 qū区 , yī一 bān般 fēn分 wéi为 sān三 gè个 qū区 : fǔ腐 shí蚀 xìng性 / yǒu有 dú毒 xìng性 qì气 tǐ体 、 kě可 rán燃 xìng性 qì气 tǐ体 、 duò惰 xìng性 qì气 tǐ体 qū区 yù域 , jiāng将 tóng同 yī一 tiān天 rán然 qì气 nóng浓 dù度 jiā加 qiáng强 guǎn管 lǐ理 hé和 kě可 rán燃 qì气 tǐ体 qū区 , yǐ以 zhuān专 mén门 guī规 huà划 bào爆 pò破 qiáng墙 hé和 shèn渗 lòu漏 , rú如 guǒ果 kōng空 jiān间 bù不 zú足 , kě可 yǐ以 kǎo考 lǜ虑 。 fàng放 zhì置 duò惰 xìng性 qì气 tǐ体 hé和 yǒu有 dú毒 fǔ腐 shí蚀 xìng性 qì气 tǐ体 qū区 yù域 。
(2)管道设计需要考虑运输距离,距离越长,成本越高,风险越大,通常设计流量越合理,20 mL/s,可燃气体小于10 mL/s,有毒/腐蚀性气体小于8 mL/s,在使用中设计该方面,需要考虑使用对等压力和管径大小,前者与气体特性有关,后者管径通常指向使用的1/4“~3/8”。
( 2 ) guǎn管 dào道 shè设 jì计 xū需 yào要 kǎo考 lǜ虑 yùn运 shū输 jù距 lí离 , jù距 lí离 yuè越 cháng长 , chéng成 běn本 yuè越 gāo高 , fēng风 xiǎn险 yuè越 dà大 , tōng通 cháng常 shè设 jì计 liú流 liàng量 yuè越 hé合 lǐ理 , 2 0 m L / s , kě可 rán燃 qì气 tǐ体 xiǎo小 yú于 1 0 m L / s , yǒu有 dú毒 / fǔ腐 shí蚀 xìng性 qì气 tǐ体 xiǎo小 yú于 8 m L / s , zài在 shǐ使 yòng用 zhōng中 shè设 jì计 gāi该 fāng方 miàn面 , xū需 yào要 kǎo考 lǜ虑 shǐ使 yòng用 duì对 děng等 yā压 lì力 hé和 guǎn管 jìng径 dà大 xiǎo小 , qián前 zhě者 yǔ与 qì气 tǐ体 tè特 xìng性 yǒu有 guān关 , hòu后 zhě者 guǎn管 jìng径 tōng通 cháng常 zhǐ指 xiàng向 shǐ使 yòng用 de的 1 / 4 “ ~ 3 / 8 ” 。
(3) 根据燃气设备的分布情况,高纯燃气管网不宜过大或过长,宜采用不封闭的环状管道,在系统末端连续排放少量燃气,使管网中始终有高纯度气体循环,不会因“死区”而造成高纯度气体污染。
( 3 ) gēn根 jù据 rán燃 qì气 shè设 bèi备 de的 fēn分 bù布 qíng情 kuàng况 , gāo高 chún纯 rán燃 qì气 guǎn管 wǎng网 bù不 yí宜 guò过 dà大 huò或 guò过 cháng长 , yí宜 cǎi采 yòng用 bù不 fēng封 bì闭 de的 huán环 zhuàng状 guǎn管 dào道 , zài在 xì系 tǒng统 mò末 duān端 lián连 xù续 pái排 fàng放 shǎo少 liàng量 rán燃 qì气 , shǐ使 guǎn管 wǎng网 zhōng中 shǐ始 zhōng终 yǒu有 gāo高 chún纯 dù度 qì气 tǐ体 xún循 huán环 , bù不 huì会 yīn因 “ sǐ死 qū区 ” ér而 zào造 chéng成 gāo高 chún纯 dù度 qì气 tǐ体 wū污 rǎn染 。
(4) 应减少不流动气体在管道中的“死区”,且不应是盲管,在专用储气罐和气体设备之间应设置吹扫阀控制装置和控制装置,用于控制吹扫阀的开关顺序和系统,以保证供气系统的安全,可靠运行,防止“死区”滞留污染物形成,降低气体纯度。
( 4 ) yīng应 jiǎn减 shǎo少 bù不 liú流 dòng动 qì气 tǐ体 zài在 guǎn管 dào道 zhōng中 de的 “ sǐ死 qū区 ” , qiě且 bù不 yīng应 shì是 máng盲 guǎn管 , zài在 zhuān专 yòng用 chǔ储 qì气 guàn罐 hé和 qì气 tǐ体 shè设 bèi备 zhī之 jiān间 yīng应 shè设 zhì置 chuī吹 sǎo扫 fá阀 kòng控 zhì制 zhuāng装 zhì置 hé和 kòng控 zhì制 zhuāng装 zhì置 , yòng用 yú于 kòng控 zhì制 chuī吹 sǎo扫 fá阀 de的 kāi开 guān关 shùn顺 xù序 hé和 xì系 tǒng统 , yǐ以 bǎo保 zhèng证 gōng供 qì气 xì系 tǒng统 de的 ān安 quán全 , kě可 kào靠 yùn运 xíng行 , fáng防 zhǐ止 “ sǐ死 qū区 ” zhì滞 liú留 wū污 rǎn染 wù物 xíng形 chéng成 , jiàng降 dī低 qì气 tǐ体 chún纯 dù度 。
(5) 对于高纯气体纯度要求不同的气体设备,宜采用分级高纯气体输送系统,也可采用同一级输送系统,但在高纯气体设备附近设置终端气体净化装置。
( 5 ) duì对 yú于 gāo高 chún纯 qì气 tǐ体 chún纯 dù度 yāo要 qiú求 bù不 tóng同 de的 qì气 tǐ体 shè设 bèi备 , yí宜 cǎi采 yòng用 fēn分 jí级 gāo高 chún纯 qì气 tǐ体 shū输 sòng送 xì系 tǒng统 , yě也 kě可 cǎi采 yòng用 tóng同 yī一 jí级 shū输 sòng送 xì系 tǒng统 , dàn但 zài在 gāo高 chún纯 qì气 tǐ体 shè设 bèi备 fù附 jìn近 shè设 zhì置 zhōng终 duān端 qì气 tǐ体 jìng净 huà化 zhuāng装 zhì置 。
(6) 为了检测高纯气体的纯度和杂质含量,输送系统除应配备必要的连续检测仪器外,如水或氧杂质含量测定仪等,还应设置定期采样的检测取样口,以便在规定的时间取样,分析高纯气体中各种杂质的含量。
( 6 ) wèi为 le了 jiǎn检 cè测 gāo高 chún纯 qì气 tǐ体 de的 chún纯 dù度 hé和 zá杂 zhì质 hán含 liàng量 , shū输 sòng送 xì系 tǒng统 chú除 yīng应 pèi配 bèi备 bì必 yào要 de的 lián连 xù续 jiǎn检 cè测 yí仪 qì器 wài外 , rú如 shuǐ水 huò或 yǎng氧 zá杂 zhì质 hán含 liàng量 cè测 dìng定 yí仪 děng等 , hái还 yīng应 shè设 zhì置 dìng定 qī期 cǎi采 yàng样 de的 jiǎn检 cè测 qǔ取 yàng样 kǒu口 , yǐ以 biàn便 zài在 guī规 dìng定 de的 shí时 jiān间 qǔ取 yàng样 , fēn分 xī析 gāo高 chún纯 qì气 tǐ体 zhōng中 gè各 zhǒng种 zá杂 zhì质 de的 hán含 liàng量 。
(7) 在亚微米级集成电路生产中,要求提供10-9级高纯气体。为了保证末端气体处理设备的气体纯度,应提高气体中的杂质含量
( 7 ) zài在 yà亚 wēi微 mǐ米 jí级 jí集 chéng成 diàn电 lù路 shēng生 chǎn产 zhōng中 , yāo要 qiú求 tí提 gōng供 1 0 - 9 jí级 gāo高 chún纯 qì气 tǐ体 。 wèi为 le了 bǎo保 zhèng证 mò末 duān端 qì气 tǐ体 chǔ处 lǐ理 shè设 bèi备 de的 qì气 tǐ体 chún纯 dù度 , yīng应 tí提 gāo高 qì气 tǐ体 zhōng中 de的 zá杂 zhì质 hán含 liàng量
(包括尘粒)控制在规定值内,通常在装置前设置终端净化装置或终端高精度气体过滤器