有什么高纯气体管路设计的要点

发布日期:2021-01-27 作者: 点击:

有什么高纯气体管路设计的要点

1、对于不同性质的气体,应分别规划供应区域,通常分为三个区:腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区,对同一性质的气体进行集中强化管理,而对于可燃性气体区,应特别规划防爆墙和泄漏口,如果空间不足,可考虑将惰性气体放置在有毒/腐蚀性气体区。


2、管道设计要考虑到输送距离,距离越远,成本越高,风险越大,通常比较合理的设计流速是20ml/S,易燃气体小于10ml/S,有毒气体/腐蚀性气体小于8ml/S,而在用量设计中,则要考虑到使用点的压力和管径大小,前者与气体特性有关,而后者一般是1/4'~3/8'。


3、根据用气设备的分布情况,高纯气体管网不宜过大或过长;宜采用不封闭的环形管道,在系统末端连续地排出少量的气体,使高纯气体总能流通在管网中,而不会出现"死空间"造成高纯气体污染。


4、管道中应减少非流动气体的“死空间”,不应设置盲管,在特殊气体储存瓶与用气设备之间应设置吹扫控制装置、多阀控制装置、对各阀门的开关顺序、系统吹除控制,以保证供气系统安 全可靠运行,防止“死区域”形成后污染物滞留,降低气体纯度。


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5、对于高纯气体纯度要求不同的用气机,宜采用分级高纯气体输送系统;也可采用同等级输送系统,但在纯度要求高的用气机附近设置末端气体净化装置。


6、为检测高纯气体的纯度和杂质含量,输送系统除设置必要的连续检测仪器,如测定水或氧杂质含量等分析仪外,还应设置定期取样用的检测采样口,以便在规定的时间内对高纯气体中的各种杂质进行采样分析。


7、亚微米级集成电路生产需要提供10-9级的高纯气体,以确保尾端气体在气体处理设备上的纯度,保证尾端气体中的杂质含量。


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