有什么高纯气体管路设计的要点
1、对于不同性质的气体，应分别规划供应区域，通常分为三个区：腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区，对同一性质的气体进行集中强化管理，而对于可燃性气体区，应特别规划防爆墙和泄漏口，如果空间不足，可考虑将惰性气体放置在有毒/腐蚀性气体区。
2、管道设计要考虑到输送距离，距离越远，成本越高，风险越大，通常比较合理的设计流速是20ml/S，易燃气体小于10ml/S，有毒气体/腐蚀性气体小于8ml/S，而在用量设计中，则要考虑到使用点的压力和管径大小，前者与气体特性有关，而后者一般是1/4'~3/8'。
3、根据用气设备的分布情况，高纯气体管网不宜过大或过长；宜采用不封闭的环形管道，在系统末端连续地排出少量的气体，使高纯气体总能流通在管网中，而不会出现"死空间"造成高纯气体污染。
4、管道中应减少非流动气体的“死空间”，不应设置盲管，在特殊气体储存瓶与用气设备之间应设置吹扫控制装置、多阀控制装置、对各阀门的开关顺序、系统吹除控制，以保证供气系统安 全可靠运行，防止“死区域”形成后污染物滞留，降低气体纯度。
5、对于高纯气体纯度要求不同的用气机，宜采用分级高纯气体输送系统；也可采用同等级输送系统，但在纯度要求高的用气机附近设置末端气体净化装置。
6、为检测高纯气体的纯度和杂质含量，输送系统除设置必要的连续检测仪器，如测定水或氧杂质含量等分析仪外，还应设置定期取样用的检测采样口，以便在规定的时间内对高纯气体中的各种杂质进行采样分析。
7、亚微米级集成电路生产需要提供10-9级的高纯气体，以确保尾端气体在气体处理设备上的纯度，保证尾端气体中的杂质含量。
联系人：柳金洪
手机：13791825266
电话：0532-83518111
0532-83518222
邮箱：rdyqc@sina.com
地址：青岛市即墨区北安办事处下疃村
网址：www.qdrtd.cn
官网二维码
Qr code of official website
