了解下高纯气体的纯度
一、对于不同性质的气体,应分别设置供应区域。一般而言,可分为三个区域:腐蚀性/毒性气体区、易燃性气体区、惰性气体区,以同一性质的气体集中加强管理,在易燃性气体区特别设计防爆墙和漏口,如空间不足,可考虑将惰性气体置于有毒/腐蚀性气体区。
二、对于高纯气体纯度要求不同的用气设备,宜采用分级高纯气体输送系统;也可采用同等级输送系统,但在纯度要求高的用气设备附近,应设置末端气体净化装置。
三、根据用气设备的分布情况,高纯气体管网不宜过大或过长;宜采用不封闭的环形管道,在系统末端连续地排出少量的气体,使管道内总有高纯气体流动,以免产生“死空间”而污染高纯气体。
四、管道应减少非流动气体的“死空间”,不应设置盲管,在特殊气体储存瓶与用气设备之间应设置吹扫控制装置、多阀控制装置、用于控制各阀门的开关顺序、系统吹除,以确保供气系统安 全可靠地运行,防止“死区域”形成后污染物滞留,降低气体纯度。