特种气体在LED中有哪些应用呢?

发布日期:2021-10-15 作者: 点击:

特种气体是指制造工艺过程中所需的硅基硅基原料,如在光电、微电子等领域,特别是大规模集成电路。其纯度和清洁度将直接影响到光电产品.微电子元件的品质.集成度.具体技术指标及优良率,并从根本上限制电路及器件的性能及准确性。


近年来,化合物半导体市场不断扩大,对特种气体的需求日益增长。现在化合物半导体主要分布于台湾和日本的市场,近几年来,中、寒两国的发展势头强劲,北美。欧洲市场份额不断增加。


半导体行业气体种类多,质量要求高,用量少,大多为有毒或腐蚀性气体。多达百余个品种。根据应用领域,半导体行业特种气体主要有:

1.硅族气体:含硅基的硅烷类,例如硅烷、二氯二氢硅、乙硅烷等。

2.掺杂气体:含硼.磷.砷等三族和五族原子之气体,如三氯化硼..磷烷。

3.腐蚀清洗气体:主要含有卤化物和卤碳化合物,例如磁吸.三弗化氮.溴化氢.四弗化碳.六氟烷等

4.反应气体:主要为碳系和氮的氧化物,例如二氧化碳。氨。氧化亚氮等等。

5.金属气相淀积气体:含卤化物金属和有机烷类金属,例如六氟化钨.三甲基镓等。


特种气体


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关键词:钢制检测,青岛高纯气体,青岛工业气体

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