高级工艺半导体产业仍遵循摩尔定律的发展要求，同时不断同步督促电子特种气体产业不断发展。抛开工艺本身的难度不谈，非工艺技术的质量控制水平将对未来电子特种气体产业的适者生存起到决定性的作用。青岛高纯气体杂质说明:
1.常规杂质：
H2、O2、N2、Ar、CO、CO2、CH4、H2O。
原料中难以分离物质。
2.特殊杂质：
颗粒物
油份
金属离子
污染同位素物质。
亚稳态物质污染。
3.杂质来源：
原料污染
原料杂质成分。
生产工艺副产品。
工艺失效污染。
4.过程污染：
环境带入：空气成分（O2、N2、Ar、CO2）、水分。
生产装置、管道、充装装置带入：水、金属元素、颗粒物、油。
生产工艺丰富。
包装污染：残留气体污染。包装本身带入污染：水分、金属元素、颗粒物。包装内壁处理不合格。
分解聚合污染。
充装过程污染:更换效率低。更换气体污染。
真空度不够
以上文章介绍了高纯气体本身杂质的基本组成。从以上结果可以看出，单点质量控制法不能满足质量稳定性和可靠性的要求，线性工艺质量控制法不能有效监控产品周转以外的因素。因此，综合质量控制迫在眉睫。
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